发明名称 APPAREIL PERFECTIONNE POUR LA STABILISATION D'UN ARC SERVANT A LA VAPORISATION D'UNE MATIERE SOLIDE
摘要 <P>UN PREMIER ANNEAU DE CONFINEMENT 24 MIS EN CONTACT AVEC LA CIBLE 16 ENTOURE LA SURFACE DE CELLE-CI, CET ANNEAU 24 ETANT COMPOSE DE NITRURE DE BORE AYANT UN RENDEMENT D'EMISSION SECONDAIRE INFERIEUR A CELUI DE LA CIBLE 16 ET UNE ENERGIE DE SURFACE INFERIEURE A CELLE DE LA MATIERE CONSTITUANT CETTE CIBLE 16 AFIN DE CONFINER L'ARC SUR LA SURFACE DE CETTE DERNIERE, CET ANNEAU DE CONFINEMENT 24 POUVANT COUVRIR UN ANNEAU 19 PERMEABLE MAGNETIQUEMENT ENTOURANT AUSSI LA CIBLE 16 QUAND CELLE-CI EST PERMEABLE PENDANT LA PHASE INITIALE DE NETTOYAGE DE LA SURFACE DE CETTE CIBLE 16.</P>
申请公布号 FR2545840(A1) 申请公布日期 1984.11.16
申请号 FR19830020123 申请日期 1983.12.15
申请人 VAC TEC SYSTEMS INC 发明人 WILLIAM M. MULARIE
分类号 C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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