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发明名称 화학 증착 장치 및 방법
摘要 <p>내용 없음</p>
申请公布号 KR840005751(A) 申请公布日期 1984.11.16
申请号 KR19830003864 申请日期 1983.08.18
申请人 null, null 发明人 브라이언트 에이. 캠벨 (외 1)
分类号 C23C16/44;C23C14/24;C23C16/46;C23C16/48 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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