| 发明名称 |
VACUUM ADSORPTION FIXING TYPE TURNTABLE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS59202812(A) |
申请公布日期 |
1984.11.16 |
| 申请号 |
JP19830078068 |
申请日期 |
1983.05.02 |
| 申请人 |
MATSUSHITA DENKI SANGYO KK |
发明人 |
KIDO KAZUO;HAJI SHIGEKI |
| 分类号 |
B28D5/00;H01L21/68;H01L21/683 |
主分类号 |
B28D5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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