发明名称 SYSTEM FOR AUTOMATIC INSPECTING OF LARGE-SCALE-INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 SU1124331(A2) 申请公布日期 1984.11.15
申请号 SU19833659287 申请日期 1983.11.05
申请人 MOROZOV MIKHAIL A,SU;LOGINOV VIKTOR S,SU;KORNEV GENADIJ,SU;TIMOFEEV YURIJ V,SU 发明人 MOROZOV MIKHAIL A,SU;LOGINOV VIKTOR S,SU;KORNEV GENADIJ I,SU;TIMOFEEV YURIJ V,SU
分类号 G01R31/303;G06F11/22;(IPC1-7):G06F15/46 主分类号 G01R31/303
代理机构 代理人
主权项
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