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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG FEINER MUSTER
摘要
申请公布号 DE3417607(A1) 申请公布日期 1984.11.15
申请号 DE19843417607 申请日期 1984.05.11
申请人 HITACHI CHEMICAL CO.,LTD.;HITACHI,LTD. 发明人 KOIBUCHI,SHIGERU;ISOBE,ASAO;MAKINO,DAISUKE
分类号 G03C5/00;G03F7/008;G03F7/26;H01L21/312;(IPC1-7):G03F7/00;H01L21/31 主分类号 G03C5/00
代理机构 代理人
主权项
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