| 发明名称 |
RAPID RATE REACTIVE SPUTTERING OF A GROUP IVB METAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0121019(A3) |
申请公布日期 |
1984.11.14 |
| 申请号 |
EP19830306545 |
申请日期 |
1983.10.27 |
| 申请人 |
BORG-WARNER CORPORATION |
发明人 |
SPROUL, WILLIAM DALLAS;TOMASHEK, JAMES RAYMOND |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/00;H01J37/34;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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