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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5946109(B2)	申请公布日期	1984.11.10
申请号	JP19760151942	申请日期	1976.12.20
申请人	IKOMA TOSHIAKI;TOKYO SHIBAURA DENKI KK	发明人	IKOMA TOSHIAKI;TOKUDA HIROKUNI;KAMEI KYOO
分类号	H01L29/78;H01L21/28;H01L21/283;H01L29/20;H01L29/41	主分类号	H01L29/78
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