MULTIFUNCTIONAL POTENTIOMETRIC GAS SENSOR ARRAY WITH AN INTEGRATED TEMPERATURE CONTROL AND TEMPERATURE SENSORS

摘要

본 발명의 실시예들은 가스 센서 및 하나 또는 그 이상의 가스를 감지하는 방법과 관련되어 있다. 하나의 실시예는 유사한 또는 다른 온도에서 유지되는 센서 전극 배열을 포함하며, 상기 장치의 감도 및 종 선택성은 센서 전극의 다른 쌍 사이에서 잘 조정될 수 있다. 특정의 실시예는 연소 배기가스 및/또는 화학 반응 부산물을 모니터링 하도록 가스 센서 배열을 포함한다. 본 장치의 하나의 실시예는 높은 온도에서 동작하며 거친 화학 환경을 견딜 수 있는 본 발명과 관련된다. 상기 장치의 실시예들은 단일 기판에서 만들어진다. 상기 장치는 상기 전극들이 동일 평면상에 있는 것을 허여하여 제작비용이 계속해서 감소하는 것과 같은 환경에서 센서 전극을 포함할 수 있다. 상기 장치의 실시예들은 감도, 선택성 및 표면 온도 조절을 통한 단일 개입에서의 향상을 제공할 수 있다.