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发明名称 ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS59195832(A) 申请公布日期 1984.11.07
申请号 JP19830216380 申请日期 1983.11.18
申请人 INTERN BUSINESS MACHINES CORP 发明人 JIEEMUZU TEIENNCHIENGU IE
分类号 C08J7/00;G03F7/36;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C08J7/00
代理机构 代理人
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