| 发明名称 |
AN ELECTRON BEAM X-Y COORDINATE POSITIONING STAGE WITH BELOW STAGE DRIVE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2139412(A) |
申请公布日期 |
1984.11.07 |
| 申请号 |
GB19840009804 |
申请日期 |
1984.04.16 |
| 申请人 |
* CONTROL DATA CORPORATION |
发明人 |
THEODORE WORTH * TUCKER |
| 分类号 |
H01J37/20;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/20 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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