Process for measuring the application and removal of this films.

摘要

Zur Messung dient ein mobiles Meßobjekt bestehend dus einem oder mehreren Schwingquarzen auf einer Transporthalterung, das mit den Prozeßsubstraten in einer Prozeßkammer gleichwertig behandelt wird. Die Messung der Massenbelegung erfolgt nach einem Be- bzw. Entschichtungsprozeß. Durch die Beschichtung des oder der Quarze wird ihre Schwingfrequenz verändert und aus dieser Frequenzänderung die Auftrags-bzw. Abtragsrate berechnet.