发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung von auf Transformationstemperatur temperierten Glassubstraten |
摘要 |
Verfahren, zur Beschichtung von auf Transformationstemperatur temperierten plattenförmigen Substraten (1) aus Glas gekennzeichnet durch die Schritte: a) Erwärmen des Substrats (1) auf Transformationstemperatur, b) zeitgleich und/oder nachfolgend zu a) Erwärmen der auf Transportrollen gelagerten Unterseite des Substrats (1) auf eine höhere Temperatur als die Oberseite des Substrats in einem Maße, dass durch die im Substrat (1) entstehende Spannung einer Durchbiegung des Substrates (1) entgegengewirkt wird, und c) Aufdampfen von mindestens einem Beschichtungsmaterial von unten auf das Substrat (1). |
申请公布号 |
DE102011004441(B4) |
申请公布日期 |
2016.09.01 |
申请号 |
DE20111004441 |
申请日期 |
2011.02.21 |
申请人 |
CTF Solar GmbH |
发明人 |
Harr, Michael, Dr.;Richter, Hilmar, Dr.;Bossert, Stefan;Steudten, Ralf;George, Steffen;Tittel, Sebastian;Schade, Werner |
分类号 |
C03C17/00;C23C14/24;C23C14/56;H01L21/363;H01L21/677;H01L31/18 |
主分类号 |
C03C17/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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