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发明名称
摘要
申请公布号	JPS59164236(U)	申请公布日期	1984.11.02
申请号	JP19830058832U	申请日期	1983.04.20
申请人		发明人
分类号	C23C14/04;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285;C23C13/06	主分类号	C23C14/04
代理机构		代理人
主权项
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