| 发明名称 |
PLASMA REACTOR REMOVEABLE INSERT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0095200(A3) |
申请公布日期 |
1984.10.31 |
| 申请号 |
EP19830200657 |
申请日期 |
1983.05.06 |
| 申请人 |
TEGAL CORPORATION |
发明人 |
HOOG, JOSEF T.;MITZEL, JAMES W. |
| 分类号 |
H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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