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发明名称 단결정 실리콘막의 제조방법
摘要 <p>내용 없음</p>
申请公布号 KR840004984(A) 申请公布日期 1984.10.31
申请号 KR19830001854 申请日期 1983.05.02
申请人 null, null 发明人 미야오 마사노부 (외 3)
分类号 C01B33/02;C30B1/02;C30B11/00;C30B13/34;C30B29/06;H01L21/208;H01L21/31 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
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