| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM TRIMMEN VON DUENNFILMWIDERSTAENDEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DD215200(A1) |
申请公布日期 |
1984.10.31 |
| 申请号 |
DD19830250654 |
申请日期 |
1983.05.05 |
| 申请人 |
VEB HALBLEITERWERK FRANKFURT (ODER),DD |
发明人 |
PAGEL,LIENHARD,DD |
| 分类号 |
H01C17/22;H01L49/02;(IPC1-7):H01C17/22;C23C15/00 |
主分类号 |
H01C17/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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