发明名称 RECIRCULATED FLOW RATE CONTROL DEVICE
摘要
申请公布号 JPS59190697(A) 申请公布日期 1984.10.29
申请号 JP19830066217 申请日期 1983.04.13
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 NAGATA YOSHIFUMI;TANIGAWA SHIYOUJI
分类号 G21D3/08;G21C7/26 主分类号 G21D3/08
代理机构 代理人
主权项
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