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发明名称 반도체 장치 제조를 위한 석판 처리공정
摘要 <p>내용 없음</p>
申请公布号 KR840004826(A) 申请公布日期 1984.10.24
申请号 KR19830001474 申请日期 1983.04.08
申请人 null, null 发明人 쳉-슈안 첸(외 3)
分类号 H01L21/306;G03F7/004;G03F7/20;G03F7/32;H01L21/027;H01L21/311 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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