发明名称 HIGH DENSITY SILICON OXYNITRIDE
摘要
申请公布号 GB2075488(B) 申请公布日期 1984.10.24
申请号 GB19810011712 申请日期 1981.04.13
申请人 NORTON CO 发明人
分类号 C04B35/58;C04B35/591;(IPC1-7):C01B21/06 主分类号 C04B35/58
代理机构 代理人
主权项
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