发明名称 PIEZOELECTRIC SERVO DRIVE WITH CORRECTION OF AMBIGUOUS STATIC CHARACTERISTIC
摘要
申请公布号 SU1120279(A1) 申请公布日期 1984.10.23
申请号 SU19823526028 申请日期 1982.12.21
申请人 MO I ELEKTRONNOJ TEKHNIKI 发明人 IVANOV EVGENIJ A,SU;LUKICHEV ALEKSANDR YU,SU;TRUBNIKOV VIKTOR YU,SU;DMITRIEV ALEKSANDR S,SU
分类号 G05B11/01;(IPC1-7):G05B11/01 主分类号 G05B11/01
代理机构 代理人
主权项
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