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发明名称 INDUCTIVELY COUPLED DISCHARGE FOR PLASMA ETCHING AND RESIST STRIPPING
摘要
申请公布号 EP0073963(A3) 申请公布日期 1984.10.17
申请号 EP19820107443 申请日期 1982.08.16
申请人 THE PERKIN-ELMER CORPORATION 发明人 REINBERG, ALAN R.;STEINBERG, GEORGE N.;ZAROWIN, CHARLES B.
分类号 B01J19/08;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
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