发明名称 PREPARING SUBSTRATES FOR SEMI-CONDUCTORS
摘要
申请公布号 GB2111037(B) 申请公布日期 1984.10.17
申请号 GB19820029832 申请日期 1982.10.19
申请人 * HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 JOHN W * PETERS
分类号 H01L21/316;H01L21/473;(IPC1-7):H01L21/47 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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