发明名称 VORRICHTUNG ZUR (TEIL)BESCHICHTUNG EINES SUBSTRATES DURCH KATHODENZERSTAEUBUNG, VERFAHREN ZUR BESCHICHTUNG UND DEREN ANWENDUNG.
摘要
申请公布号 AT9717(T) 申请公布日期 1984.10.15
申请号 AT19810100187T 申请日期 1981.01.13
申请人 BERNA AG OLTEN 发明人 RORDORF, HORST
分类号 B26B21/60;(IPC1-7):C23C15/00;G01N27/56 主分类号 B26B21/60
代理机构 代理人
主权项
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