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发明名称
摘要
申请公布号 JPS59152474(U) 申请公布日期 1984.10.12
申请号 JP19830046172U 申请日期 1983.03.30
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L31/00;H01L31/02;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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