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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERMATERIALIEN
摘要
申请公布号 DE3413082(A1) 申请公布日期 1984.10.11
申请号 DE19843413082 申请日期 1984.04.06
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 SHIMIZU,HIROFUMI;FUJITA,MASATO;SUZUKI,KAZUYA;HANAGATA,FUMIAKI
分类号 C30B15/14;C30B29/06;C30B33/00;C30B33/02;(IPC1-7):C30B33/00;C30B35/00;H01L21/32 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
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