| 发明名称 |
SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2137662(A) |
申请公布日期 |
1984.10.10 |
| 申请号 |
GB19840005238 |
申请日期 |
1984.02.29 |
| 申请人 |
* VARIAN ASSOCIATES INC |
发明人 |
FREDERICK THOMAS * TURNER;MARTIN ALBERT * HUTCHINSON;RAYMOND HOWARD * SHAW;LAWRENCE TURNER * LAMONT |
| 分类号 |
B65G49/07;C23C14/34;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/56;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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