| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR TIEFENAETZUNG VON HALBLEITERMATERIALIEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DD214489(A1) |
申请公布日期 |
1984.10.10 |
| 申请号 |
DD19820248979 |
申请日期 |
1982.08.17 |
| 申请人 |
FRIEDRICH-SCHILLER-UNIVERSITAET JENA,DD |
发明人 |
UNGER,WOLFGANG,DD |
| 分类号 |
H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/308 |
主分类号 |
H01L21/308 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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