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发明名称 연자성 기판의 반응이온 식각법
摘要 <p>내용 없음</p>
申请公布号 KR840003878(A) 申请公布日期 1984.10.04
申请号 KR19830000515 申请日期 1983.02.09
申请人 null, null 发明人 디즈스 빌렘 브릴(외1)
分类号 H01L21/302;C04B41/53;C23F4/00;G11B5/127;G11B5/193;H01F1/12;H01F41/00;H01F41/34;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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