| 发明名称 |
WAFER TRANSPORTING CENTRING AND HEATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2137414(A) |
申请公布日期 |
1984.10.03 |
| 申请号 |
GB19840007962 |
申请日期 |
1984.03.28 |
| 申请人 |
* SILICON VALLEY GROUP INC |
发明人 |
JOHANN * TAM;JALAL * ASHJAEE;NOBUO B * KUWAKI;TUAN MINH * NGO;SUSAN W * KUNG |
| 分类号 |
B65G43/08;B65G49/07;B65H5/02;B65H9/14;G03F7/26;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68;B65G15/14;H01L21/26 |
主分类号 |
B65G43/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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