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发明名称 PASSIVIERUNGSSCHICHT FUER HALBLEITERSCHALTKREISE
摘要
申请公布号 DD214255(A1) 申请公布日期 1984.10.03
申请号 DD19830248984 申请日期 1983.03.21
申请人 FI MANFRED VON ARDENNE,DD 发明人 KRUEGER,DIETMAR,DD;PAGEL,LIENHARD,DD;FISCHER,HARTMUT,DD;BIERMANN,ROSWITHA,DD;HEISIG,ULLRICH,DD;STEINFELDER,KARL,DD;KORNDOERFER,CHRISTIAN,DD
分类号 H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56;C23C15/00 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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