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发明名称 SCANNING A BEAM OF CHARGED PARTICLES
摘要
申请公布号 GB2137408(A) 申请公布日期 1984.10.03
申请号 GB19840006519 申请日期 1984.03.13
申请人 * VARIAN ASSOCIATES INC 发明人 NORMAN LEONARD * TURNER
分类号 G01R31/265;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/31;H01L21/42 主分类号 G01R31/265
代理机构 代理人
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