发明名称 ELECTRON BEAM SENSITIVE RESIST
摘要
申请公布号 IL71916(D0) 申请公布日期 1984.09.30
申请号 IL19840071916 申请日期 1984.05.24
申请人 GAF CORP 发明人
分类号 C08F8/44;G03F7/038;(IPC1-7):C08G/ 主分类号 C08F8/44
代理机构 代理人
主权项
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