| 发明名称 |
VERFAHREN UND AETZMITTEL ZUM SELEKTIVEN REAKTIVEN IONENAETZEN VON ALUMINIUM UND ALUMINIUMLEGIERUNGEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3410023(A1) |
申请公布日期 |
1984.09.27 |
| 申请号 |
DE19843410023 |
申请日期 |
1984.03.19 |
| 申请人 |
LFE CORP. |
发明人 |
JACOB,ADIR;HG. CHOE,DANIEL |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/30;H01L21/90 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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