CERAMIC EVACUATABLE ENCLOSURE

摘要

Une enceinte céramique pouvant être évacuée (10, 30, 42), telle qu'un corps de laser, est produite par le procédé ci-décrit. Une première partie du corps (12, 41) est façonnée avec un canal (18, 19, 20, 43, 45, 46) et une deuxième partie du corps (11, 31, 40) est produite avec le même matériau céramique. Des surfaces correspondantes sont polies sur les parties du corps (11, 12) afin de les souder entre elles par thermo-compression en-dessous de la température de distorsion de la céramique, de manière à obtenir un scellement solide. La céramique peut être de l'alumine comprenant de 0,2 à 12% en poids d'un matériau vitreux. La température de thermo-compression peut se situer entre 1200o C et 1750o C. Le polissage est exécuté jusqu'à un finissage compris entre 0,01 mum et 0,15 mum. Les parties du corps (11,12) peuvent avoir des formations de surface analogues alignées mutuellement pour constituer une cavité pliée (18, 19, 20) pour un laser au CO2 à guide d'onde en alumine.