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发明名称 METHOD OF AND APPARATUS FOR PRODUCING A DIFFRACTING MEANS
摘要
申请公布号 EP0020132(B1) 申请公布日期 1984.09.26
申请号 EP19800301759 申请日期 1980.05.28
申请人 MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 发明人 FLANDERS, DALE C.;SMITH, HENRY I.
分类号 G02B5/18;G03F7/20;(IPC1-7):02B5/18 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
主权项
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