发明名称
摘要
申请公布号 JPS5939508(B2) 申请公布日期 1984.09.25
申请号 JP19770010716 申请日期 1977.02.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 SUZUKI KEIZO;OKUDAIRA SADAYUKI;SHIKAMATA ICHIRO
分类号 C23F4/00;C23F1/04;G02B5/18;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
地址