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发明名称 PLASMA REACTION ION ETCHING OF ALUMINIUM AND ALUMINIUM¹ALLOYS
摘要
申请公布号 IE840726(L) 申请公布日期 1984.09.25
申请号 IE19840000726 申请日期 1984.03.23
申请人 LIFE CORP 发明人
分类号 C23F4/00;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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