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发明名称 OPTRONIC PROJECTION SYSTEM FOR MANUFACTURING INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 SU1115134(A1) 申请公布日期 1984.09.23
申请号 SU19823514788 申请日期 1982.11.23
申请人 ARKHAROV MIKHAIL A,SU 发明人 ARKHAROV MIKHAIL A,SU
分类号 H01J37/304;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 H01J37/304
代理机构 代理人
主权项
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