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发明名称
HALBLEITERVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DERSELBEN
摘要
申请公布号
DE3408552(A1)
申请公布日期
1984.09.20
申请号
DE19843408552
申请日期
1984.03.08
申请人
TOKYO SHIBAURA DENKI K.K.
发明人
YONEZAWA,TOSHIO;KINOSHITA,HIROSHI
分类号
H01L21/331;H01L21/74;H01L23/48;H01L29/72;H01L29/73;(IPC1-7):H01L29/72
主分类号
H01L21/331
代理机构
代理人
主权项
地址
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