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发明名称 VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR BESCHICHTUNG EINES SUBSTRATES
摘要
申请公布号 DE3310044(A1) 申请公布日期 1984.09.20
申请号 DE19833310044 申请日期 1983.03.19
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH 发明人 HERZOG,HANS-JOEST;KIBBEL,HORST
分类号 C23C14/50;C30B23/02;(IPC1-7):C23C13/00;C23C13/08;H01L21/20;H01L21/26;H01J37/20;C30B35/00;C30B25/08 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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