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发明名称 HOLLOW CATHODE R.F. SPUTTERING
摘要
申请公布号 AU2543184(A) 申请公布日期 1984.09.20
申请号 AU19840025431 申请日期 1983.03.09
申请人 UNISEARCH LTD. 发明人 CHRISTOPHER MAX HORWITZ
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01J37/34;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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