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发明名称 EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号 GB8420726(D0) 申请公布日期 1984.09.19
申请号 GB19840020726 申请日期 1984.08.15
申请人 CANON KK 发明人
分类号 G03B27/54;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03B27/54
代理机构 代理人
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