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发明名称 METHOD OF FORMING A MICROSCOPIC PATTERN, AND A PHOTORESIST
摘要
申请公布号 EP0040535(B1) 申请公布日期 1984.09.19
申请号 EP19810302194 申请日期 1981.05.18
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 MATSUZAWA, TOSHIHARU;IWAYANAGI, TAKAO;DOUTA, KIKUO;YANAZAWA, HIROSHI;KOHASHI, TAKAHIRO;NONOGAKI, SABURO
分类号 H01L21/30;G03F7/012;H01L21/027;(IPC1-7):01L21/302;03F7/08;01L21/312 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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