发明名称 Process for the production of a sodium ion sensitive layer
摘要 The invention relates to a Na<+> ion sensitive layer which is suitable for ion-sensitive field effect transistors (ISFETs), which can be used as sensors in aqueous solutions.
申请公布号 DE3308656(A1) 申请公布日期 1984.09.13
申请号 DE19833308656 申请日期 1983.03.11
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH 发明人 KUISL,MAX,DR.;RICHTER,JUTTA;MERK,HANS
分类号 G01N27/333;G01N27/414;(IPC1-7):B05D5/12;B05D3/02;B05D7/24;H01L21/28;H01L29/76 主分类号 G01N27/333
代理机构 代理人
主权项
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