发明名称 |
Process for the production of a sodium ion sensitive layer |
摘要 |
The invention relates to a Na<+> ion sensitive layer which is suitable for ion-sensitive field effect transistors (ISFETs), which can be used as sensors in aqueous solutions.
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申请公布号 |
DE3308656(A1) |
申请公布日期 |
1984.09.13 |
申请号 |
DE19833308656 |
申请日期 |
1983.03.11 |
申请人 |
LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH |
发明人 |
KUISL,MAX,DR.;RICHTER,JUTTA;MERK,HANS |
分类号 |
G01N27/333;G01N27/414;(IPC1-7):B05D5/12;B05D3/02;B05D7/24;H01L21/28;H01L29/76 |
主分类号 |
G01N27/333 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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