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经营范围
发明名称
APPARATUS AND PROCESS FOR SELECTIVE ELECTROCHEMICAL ETCHING
摘要
申请公布号
DE3068851(D1)
申请公布日期
1984.09.13
申请号
DE19803068851
申请日期
1980.04.18
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
BUHNE, JOACHIM;FROSCH, ALBERT;SCHAFER, ROLF, DR.;STOFFEL, AXEL, DR.
分类号
C25F3/12;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/30
主分类号
C25F3/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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