发明名称 APPARATUS AND PROCESS FOR SELECTIVE ELECTROCHEMICAL ETCHING
摘要
申请公布号 DE3068851(D1) 申请公布日期 1984.09.13
申请号 DE19803068851 申请日期 1980.04.18
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BUHNE, JOACHIM;FROSCH, ALBERT;SCHAFER, ROLF, DR.;STOFFEL, AXEL, DR.
分类号 C25F3/12;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 C25F3/12
代理机构 代理人
主权项
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