发明名称
摘要 Titanium is employed as a masking material for the selective etching of a coating material of a polyimide-silicone copolymer disposed on selective surface areas of electronic devices.
申请公布号 JPS5937495(B2) 申请公布日期 1984.09.10
申请号 JP19770106839 申请日期 1977.09.07
申请人 GEN ELECTRIC 发明人 REONAADO SUTEIN
分类号 G03F7/038;G03F7/11;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/312;H01L21/3213;H01L21/768 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
主权项
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