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发明名称 ELECTRONE-BEAM PROBE DEVICE
摘要
申请公布号 SU1112436(A1) 申请公布日期 1984.09.07
申请号 SU19833614309 申请日期 1983.06.29
申请人 LE N-PROIZV OB "BUREVESTNIK" 发明人 VYAL LIDIYA F,SU;MAKAROV KIRILL A,SU;MEZHEVICH ANATOLIJ N,SU;MOROZOV VLADIMIR I,SU
分类号 H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/26 主分类号 H01J37/26
代理机构 代理人
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