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<P>L'APPAREIL A CHAMBRES MULTIPLES POUR LA FABRICATION EN CONTINU DE CELLULES PHOTOVOLTAIQUES AMORPHES EN TANDEM SUR UN SUBSTRAT 11 COMPREND UNE TRIADE DE CHAMBRES DE DEPOT 28, 30, 32, 34, 36, 38, UN DISPOSITIF 60 POUR LE DEPLACEMENT EN CONTINU DU SUBSTRAT 11 DANS CHAQUE TRIADE DE CHAMBRES DE DEPOT, DES MOYENS POUR LE DEPOT DE COUCHES SUCCESSIVES D'UNITES A TROIS COUCHES SUR LE SUBSTRAT, DES MOYENS ASSOCIES A CHAQUE CHAMBRE POUR L'INTRODUCTION D'UN MELANGE DE GAZ DE REACTION PRESELECTIONNE, DES MOYENS 40 POUR EMPECHER PRATIQUEMENT TOUTE CONTAMINATION CROISEE DU MELANGE DE GAZ DE LA TROISIEME CHAMBRE 32 AVEC LE MELANGE DE GAZ DE LA PREMIERE CHAMBRE 28 ET DES MOYENS 58D, 58E, 58H, 58I POUR ISOLER PRATIQUEMENT LE MELANGE DE GAZ DE LA SECONDE CHAMBRE DE CHAQUE TRIADE DES MELANGES DE GAZ DES PREMIERE ET TROISIEME CHAMBRES.</P>
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