| 发明名称 |
CLUTCH ASSEMBLY FOR REMOVING A SEVERED WAFER FROM AN INGOT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0079744(A3) |
申请公布日期 |
1984.09.05 |
| 申请号 |
EP19820305945 |
申请日期 |
1982.11.09 |
| 申请人 |
SILICON TECHNOLOGY CORPORATION |
发明人 |
STEERE, ROBERT E. |
| 分类号 |
B28D1/22;B23Q7/04;B28D5/00;B28D5/02;H01L21/304;H01L21/683;(IPC1-7):B28D5/00 |
主分类号 |
B28D1/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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