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发明名称
VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON HOCHEBENEN SUBSTRATSCHEIBEN
摘要
申请公布号
DD213162(A1)
申请公布日期
1984.09.05
申请号
DD19820246835
申请日期
1982.12.30
申请人
AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DD
发明人
HOFMANN,HEINI,DD;NEUMANN,EBERHARD,DD;SCHULZ,HARTMUT,DD;EWALD,REINHARD,DD
分类号
B24B29/00;(IPC1-7):B24B29/00
主分类号
B24B29/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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