发明名称 VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON HOCHEBENEN SUBSTRATSCHEIBEN
摘要
申请公布号 DD213162(A1) 申请公布日期 1984.09.05
申请号 DD19820246835 申请日期 1982.12.30
申请人 AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DD 发明人 HOFMANN,HEINI,DD;NEUMANN,EBERHARD,DD;SCHULZ,HARTMUT,DD;EWALD,REINHARD,DD
分类号 B24B29/00;(IPC1-7):B24B29/00 主分类号 B24B29/00
代理机构 代理人
主权项
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